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场发射扫描电镜
浙江理工大学
日立公司，日立s-4800
浙江省
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仪器参数

l、二次电子分辨率： 1.0nm (15kV)； 2.0n（1kV)； 1.4nm (1kV减速模式) 2、背散射电子分辨率：3.0 nm (15 kV) 3、加速电压：0.5～30kV 4、电子枪：冷场发射电子源 5、放大倍率：20～800,000倍 6、能用X射线能谱仪进

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