场发射扫描电子显微镜
浙江省冶金研究院有限公司
Carl Zeiss SMT Pte Ltd,SIGMA
浙江省
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检测范围

主要进行各种材料的成分和结构分析

仪器参数

分辨率:1.3nm在20kV,2.8nm在1kV;加速电压范围:0.1~30kV;探针电流范围:4pA~20nA;放大倍数:12~1000000x
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