光学轮廓仪 
衢州学院
KLA-Tencor,XAM1200 
浙江省
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检测范围

二维、三维干涉高精度成像

仪器参数

RMS可重复性(标准模式):1nm 外侧面采样:0.11到8.8μm;垂直扫描范围:30μm-100μm
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