多功能真空镀膜系统-测试100仪器共享平台

多功能真空镀膜系统
所在单位：	台州学院
品牌/型号：	德仪科技（北京）有限公司，DE500
所在地区：	浙江省
仪器说明：	我们目前尚未与台州学院提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器，建议您联系相关单位，以确定是否可以对外开放。您也可以通过点击此处提交需求，委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试，我们将为您提供以下保障：票正规发票合委托合同保交易担保退不满意退款优优选服务商

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行业专用仪器

仪器介绍

检测范围

可用于磁控溅射及热蒸发镀膜；科研教学。

仪器参数

技术指标：该系统有两个真空腔室，采用机械手送样，换样时不破坏主真空室真空；配置3个2英寸强磁靶枪和1个热蒸发源，可实现磁控溅射镀膜和热蒸发镀膜；配备两台500W直流电源，一台300W射频电源；热蒸发最高温度可到达1500摄氏度；样品室退火温度可达1000摄氏度；主真空室的极限真空可达到5*10-8Torr，预真空室的真空度可达到6*10-6Torr；整机采用计算机+PLC全自动控制方式，实现智能化操作。

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