检测范围
冷场发射扫描电子显微镜（SEM）是一种高精密度的电子光学仪器。广泛应用于材料科学、催化、医学、生物、地质勘探、钻井、采油等领域多类样品的微观形貌观察、结构分析、成分测试等。
仪器参数
（1）SEM：分辨率为1.0nm（15kV），2.0nm（1kV）；加速电压为0.5～30kV；；放大倍数30~800,000倍；仪器带有减速功能，配有冷场发射电子枪及高性能E×B探测器，可获取二次电子图像和背散射图像。（2）EDS能谱仪：采用Si（Li）探测器，配备30mm2超薄窗，能量分辨率优于133eV，检测元素范围为Be(Z=4)~U(Z=92)，具有点、线、面扫描功能。
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