半导体特性测量系统
河南大学
keithley,4200-SCS/F
河南省
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物理测试

检测范围

各种微米和纳米器件的电学性能测试

仪器参数

该仪器具有四个源测量单元(SMU),其中包括三个0.1fA的高分辨率SMU和一个1A的大功率SMU
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