场发射扫描电镜
河南大学
日本电子株式会社,JSM-7610F
河南省
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检测范围

表面形貌观测、截面样品断面分析,化学元素定性和半定量分析。

仪器参数

1. 分辨率:二次电子图像1nm/1.3nm (15kV/1kV),背散射电子像3nm(15kV);2. 放大倍数:25-100,0000;3.EDS能量分辨率129eV;4. 点分析/面扫描/ 线扫描/单谱分析。
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