FED封装系统(场发射)(FEDvacuumsealingsystem)
华东师范大学
上海纳晶科技公司,FED
上海市
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检测范围

用于高真空环境下的电子器件封装;场发射器件、真空电子器件的封装排气等/fed真空封装

仪器参数

真空度:5×10-4真空
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