检测范围
1、扫描电镜追求固体物质高分辨的形貌，形态图像（二次电子探测器SEI)-形貌分析(表面几何形态，形状，尺寸） 2、显示化学成分的空间变化，基于化学成分的相鉴定---化学成分像分布，微区化学成分分析 3、利用背散射电子衍射信号对样品物质进行晶体结构（原子在晶体中的排列方
仪器参数
1、分辨率和成像质量等同于常规 FE-SEM 2、可变低电压避免了样本涂层费用和使用需求。 3、可编程的 X-Y-Z 平台支持用户设置精密坐标，扫描并保存位置。 4、静电透镜设计确保提供重复性能，无需频繁的重复调节。 5、外形小巧，无需特定设施即可轻松安装到任何研究实验室。
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