聚焦离子束场发射扫描电镜(Focused ion beam field emission scanning electron microscopy)
北京科技大学
蔡司公司,ZeissAuriga
北京市
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分析仪器

检测范围

1.各种材料形貌观察和分析;2.材料微区成分分析;3.多晶材料的晶体取向和织构分析和3D重构;4.材料微纳结构的样品制备

仪器参数

SEM分辨率Resolution:1.0nm @ 15kV,1.9nm @ 1kV;放大倍数Mag.:12 ~ 1000,000x;加速电压EHT:0.1 ~ 30kV;FIB分辨率Resolution:2.5nm @ 30kV;放大倍数Mag.:300×~ 500,000×;加速电压EHT:1.0 ~ 30Kv

仪器特色&服务特色

服务于采矿、冶金、材料等科学领域研究项目的实验分析与测试
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