检测范围
1.各种材料形貌观察和分析;2.材料微区成分分析;3.多晶材料的晶体取向和织构分析和3D重构;4.材料微纳结构的样品制备
仪器参数
SEM分辨率Resolution:1.0nm @ 15kV,1.9nm @ 1kV;放大倍数Mag.:12 ~ 1000,000x;加速电压EHT:0.1 ~ 30kV;FIB分辨率Resolution:2.5nm @ 30kV;放大倍数Mag.:300×~ 500,000×;加速电压EHT:1.0 ~ 30Kv
仪器特色&服务特色
服务于采矿、冶金、材料等科学领域研究项目的实验分析与测试