检测范围
可以加工的衬底尺寸：6 英寸以下兼顾5、4、3、2英寸以及破片，蒸发沉积Au, Pt, Al, Ti, Cr, Ni, Ag, V, Ti，W, ITO, AlN, SiO2, PZT等薄膜
仪器参数
1. 极限真空：优于1E-7Torr 2. 抽气速度：30分钟内从大气抽到5E-6Torr 3. 镀膜均匀性重复性：6英寸工件均匀性优于#177;3 ，重复性优于#177;2.0 4.蒸发沉积Au, Pt, Al, Ti, Cr, Ni, Ag, V, Ti，W, ITO, AlN, SiO2, PZT等薄膜
分享
