检测范围
"可变真空超大样品室扫描电镜 VEGA 3 XMU具有制样简单、放大倍数可调范围宽、图像的分辨率高、景深大等特点，主要用于微区形貌观察及能谱成分分析。最重要的特性如下：
1、独特的四透镜大视野电子光学设计；2、专利的实时电子束追踪技术；3、自动化优中心样品台设计简化了样
仪器参数
"电子枪：钨灯丝；
分辨率（二次电子）：3.0nm(30kV)、8.0nm(3kV)；
分辨率（背散射电子）：3.5nm(30kV)；
放大倍率：1x-1,000,000x；
加速电压：200V至30KV；
探针电流：1pA至2μA；
样品室：300mm（W）x330mm（D）；
扫描速度：从20ns/pixel至10ms/pixel,可分段或连续调整；
图象尺寸：最大可达8192×8192象素，图象比例可选1：1、4：3或2：1；
显微镜控制：通过计算机(键盘、鼠标、轨迹球)操作VEGA"
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