超高分辨热场发射扫描电子显微镜(Extreme resolution Analytical Field Emission SEM)
上海交通大学
日本 JEOL,JSM-7800F Prime
上海市
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检测范围

材料表面的微形貌高分辨观察

仪器参数

分辨率:0.7 nm (15 KV), 0.7 nm(1 KV), 3.0nm (5 KV、WD10 mm、5 nA); 加速电压:0.01 KV~30 KV; 偏压:0~5 KV; 电子枪:In-lens Schottky Plus field emission scanning electron gun; 5轴马达。
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