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多通道高温超导长带检测系统
上海交通大学
PVD Products,Inc，J00R0017
上海市
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检测范围

第二代高温超导带材功能层制备中研究隔离层复杂氧化物和保护层的制备。

仪器参数

靶子到带子的可调距离:60mm靶子尺寸:6quot;*2quot;*1-4靶子电源:2.5KW的直流电源和2KW的射频电源。
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