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激光共聚焦显微镜
上海交通大学
激光共聚焦显微镜，VK-X250K
上海市
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检测范围

金属和非金属表面微细功能结构测量

仪器参数

实现2D、3D图像观察，并能通过图像实现长度、高度、角度、面积、体积等测量；金相分析；透明膜厚测量等功能。载物台行程不低于500*500mm，台面尺寸不低于500*500mm，上下升降行程不低于40mm。Z轴显示分辨率不大于0.5nm，测量重复精度不大于12nm，实际放大倍率2万倍以上。

仪器特色&服务特色

金属表面微细槽道检测
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