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双光束激光干涉仪
上海交通大学
德国SIOS 公司，SIOS 120-DS
上海市
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检测范围

用于微动操作定位系统的测量及其系统的标定，可以同时实现角度和长度的测量

仪器参数

测量范围：100mm 测量解析度：1nm 角度测量范围：正负2弧分 角度解析度：0.01弧秒

仪器特色&服务特色

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