扫描探针显微镜-测试100仪器共享平台

扫描探针显微镜(SPM)
所在单位：	电子科技大学
品牌/型号：	精工公司，SPA－300HV\|\| \|\|分辨率：XY0.2nm Z01.nm 真空度：10-5Pa
所在地区：	四川省
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针对纳米薄膜的表面进行微区形貌表征、摩擦力成像和相位、磁畴电畴成像

纳米薄膜表面微区形貌表征的分辨率：XY方向0.1nm ，Z方向0.01nm 样品室真空度：10-5Pa

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