原子层沉积系统-测试100仪器共享平台

原子层沉积系统(PEALD)
所在单位：	南昌大学
品牌/型号：	嘉兴科民电子设备技术有限公司，PEALD-100A
所在地区：	江西省
仪器说明：	我们目前尚未与南昌大学提供的该仪器进行进一步的对接。如果您需要使用该仪器，建议您联系相关单位，以确定是否可以对外开放。您也可以通过点击此处提交需求，委托我们帮您联系相关单位。如果您选择通过我们联系相关单位进行送样测试，我们将为您提供以下保障：票正规发票合委托合同保交易担保退不满意退款优优选服务商

所有仪器

真空镀膜，材料生长

功率：220V直流电，60Hz，单相，4kW。
380V交流电，60Hz，三相，2kW。
衬底大小：4”片
沉积效率：0.12nm每周期在200摄氏度和0.2Torr压强下。

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