深能级瞬态谱仪(deep-level transient spectrometer)
南昌大学
美国Semitrol公司,DLTS
江西省
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检测范围

检测半导体中微量杂质、缺陷的深能级及界面态。通过对样品的温度扫描,可以给出表征半导体禁带范围内的杂质、缺陷深能级及界面态随温度(即能量)分布的DLTS 谱。

仪器参数

- 脉冲发生器
电压范围: ±20.4 V (±102 V opt.)
脉冲宽度:1 μs - 1000 s
- 电容测量
高频信号100 mV @ 1 MHz (20 mV 可选)
电容范围 [pF] 3, 30, 3000 3000 (自动或手动)
灵敏度 0.01 fF
- 电压测量:
范围 ±10 V
灵敏度
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