离子束溅射沉积刻蚀设备
南京大学
美国,STM-100MF
江苏省
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检测范围

其刻蚀和溅射镀膜的样品满足扫描电镜(SEM),透射电镜(TEM)以及光学显微镜(LM)的需求。
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