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有机光电薄膜与器件多功能蒸镀系统
中南大学
沈阳市超高真空应用技术研究所，有机光电薄膜与器件/六室联用型
湖南省
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检测范围

高真空度条件下光点功能薄膜生长制备以及电极沉积；光电功能器件制备

仪器参数

工作真空度10-4Pa以下；蒸镀薄膜厚度可控制薄到几个纳米厚度

仪器特色&服务特色

支撑在研国家自然科学基金重点项目1项
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