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光学轮廓仪系统
中南大学
Veeco Metrology Inc，WYKO NT9100
湖南省
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检测范围

测量材料和零件表面的二维和立维形貌轮廓、粗糙度、台阶高度和平面度等表面形貌参数，垂直分辨率：小于0.1nm(Ra)(H150um)

仪器参数

样品台，电动平台，不小于100mm，移动范围：50mm以上(XY轴)，目镜：0.5倍、1倍、2倍，物镜：5倍、20倍、50倍，100倍，垂直分辨率：小于0.1na（,台阶测试重复率：《=0.1%，台阶测试精度：
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