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离子减薄系统(Precision Ion Polishing System)
中南大学
美国Gatan公司，691型
湖南省
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检测范围

透射电镜的制样

仪器参数

离子枪束能量：1.5KV-6KV；束直径：350μm FWHM at 5kev；离子束电流密度：10Ma；减薄速度：硅，每小时40μm，5kv；样品旋转：无极可变，每分钟1-6转；离子束调制：单一或双面横截面减薄；真空度：5E-6Torr基本压强，工作时间8E-5Torrbase；凹坑仪定位精度：小于10nm；减薄厚度控制：1μm。

仪器特色&服务特色

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