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电子探针显微分析仪(Electron Probe Microanalyzer)
中南大学
日本电子，JXA-8230
湖南省
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检测范围

40倍～30万倍扫描图像观察；进行微小区域内样品的定性分析；进行微小区域内的各元素定量分析；进行元素线分析；进行元素面分析

仪器参数

分析元素：5B - 92U；谱仪道数：4道；X射线检出角：40o；灯丝：六硼化镧和钨丝发射两种；加速电压：0～30kV（步长≤0.5KV，可调）；电子束流： 10-12～10-5A连续可调，绝对准确值≤10%；真空度：样品室≤1.3′10-3 Pa；电子枪室≤1×10-5Pa
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