光刻机(lithography)
东北电力大学
成都光电所,URE-2000A
吉林省
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检测范围

各种集成电路的制造

仪器参数

曝光面积:150mm×150mm;分辨力:0.8-1mm(胶厚2 mm的正胶);对准精度:±0.6mm

仪器特色&服务特色

A 信息技术;B 高技术服务;C 生物和医药;D 航空航天;E 新材料;F 先进能源;G 现代农业;H 先进制造;I 环保技术;J 海洋;K 安全健康;L 现代交通;M 地球科学;N 文化创意;O 其他;P 遥感技术
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