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冷场发射扫描电子显微镜(scanning electron microscope)
长春大学
日本电子，JSM-7500F
吉林省
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检测范围

样品形貌测试

仪器参数

分辨率 1.0nm (加速电压为15kV时);1.4nm (加速电压为1kV时) 电子枪 全自动园锥形冷场发射枪 加速电压 0.1kV ~ 30kV 放大倍数 ×25 ~ ×1,000,000 束流范围 10-13 ~ 2×10-9A 聚光镜 两级 物镜 最佳光阑角控制器 物镜极靴 强励磁圆锥形物镜极靴 探测器 高位二次电子探测器 低位二次电子探测器

仪器特色&服务特色

发表科研论文82篇，申请专利14项
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