高真空双室多功能薄膜制备系统(高真空双室多功能薄膜制备系统 高真空双室多功能薄膜制备系统 High vacuum double chamber multifunctional film preparation system)
长春理工大学
辽宁聚智,非标订制
吉林省
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检测范围

利用磁控溅射和离子束溅射的蒸发方法,用于制备单层或多层薄膜。

仪器参数

极限真空: 10-6Pa
气体控制:流量范围0-200sccm
样品有效尺寸:

仪器特色&服务特色

承担薄膜方面的科研项目
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