电子束离子辅助沉积设备(Electron beam ion assisted deposition apparatus)
长春理工大学
惠州市奥普康真空科技有限公司,0ZZSQ900
吉林省
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检测范围

可以用于制备金属薄膜和介质薄膜

仪器参数

极限真空: 10-4Pa
电子枪:两把270度e型枪,功率:7KW
样品有效尺寸:

仪器特色&服务特色

承担光学薄膜方面的科研项目
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