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紫外纳米压印机(Uv nano-imprinting machine)
长春理工大学
EZImprinting INC，PL400
吉林省
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检测范围

纳米结构压印

仪器参数

压印面积尺寸4英寸；
- 压印压力：0~25PSI
- 模板尺寸：5×0.09 英寸（支持任意尺寸模板）
- 典型压印时间：小于 5分钟/wafer
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