K1050X射频等离子处理单元(K1050X RF Plasma Etcher/Asher/Cleaner)
延边大学
英国Quorum电镜制样设备公司,K1050X
吉林省
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检测范围

等离子清洁、等离子刻蚀、等离子灰化。

仪器参数

1、真空范围: ATM 到 10-2 mbar量级(K1050XT可达
   10-4 mbar量级),通常操作真空为0.5mbar到1.0mbar
2、数字计时:99.9小时选择范围,倒计时实时显示
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