高真空复合镀膜设备
延边大学
沈阳新落天真空技术,FLJ450
吉林省
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检测范围

具有磁控溅射、离子束溅射、离子束辅助沉积与清洗功能。可用于制备各种金属膜 、半导体膜、介质膜以及铁电薄膜、各类光学膜(如软X射线光学膜)、磁记录薄膜和各种硬质薄膜。该设备不但可制备金属多层膜,而且还可以制备掺杂的化合物薄膜。可广泛应用于半导体行业、微电子及

仪器参数

系统极限真空
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