电子束镀膜机(Electron beam coating machine)
吉林师范大学
中国北京北仪创新真空技术有限责,ZZSX-700
吉林省
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检测范围

镀制各种有机膜系,包括增透膜,反射膜等。

仪器参数

1.极限压力≤5*10-4Pa 2.恢复真空抽气时间:从1*105到2*10-3小于20min. 3.磁偏转e型电子枪,功率6KW 4.烘烤温度最高350度,功率4.5KW 5.真空系统:KT-500扩散泵,2X70A真空泵 6.膜厚控制为石英晶体膜厚控制仪

仪器特色&服务特色

培养硕士研究生,发表科研论文
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