冷场发射扫描电子显微镜(scanning electron microscope)
南昌大学
日本日立公司,SU8010
江西省
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检测范围

材料表面分析

仪器参数

分辨率: ≤1.0nm (15kV,工作距离≥4mm);
≤1.3nm (1KV)电子减速功能
加速电压:0.1~30kV 连续可调
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