冷场发射扫描电子显微镜(SEM)
南开大学
日本电子株式会社(JEOL),--JSM-7500F
天津市
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检测范围

1.主动式减震器 2.先进的磁悬浮分子泵系统,无需UPS保护 3.标配的五轴马达驱动全对中样品台 4.全自动样品更换气锁 5.全自动样品监控系统 6.全自动物镜光阑 7.多通道显示系统 8.自动减速系统标准配置

仪器参数

分辨率:3.0nm @1 kV    1.2nm @30 kV
加速电压:0.1-30 kV连续可调
溅射电流:10,20,30,40mA
溅射靶:铂金

仪器特色&服务特色

2015年度本仪器共辅助师生发表SCI论文48篇,共服务机时两千多小时。
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