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场发射扫描电子显微镜(Scanning electron microscopy)
天津大学
日本日立，S-4800
天津市
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检测范围

配备新型透镜系统，提供了高分辨模式，高束流模式。大工作距离模式，磁性样品模式等多种工作模式。采用电子束减速功能，提高了图象质量。采用新型E×B式探测器，可选择接受二次电子像或背散射像。

仪器参数

分辨率： 1.0nm（15kv），2.0nm（1kv）。放大倍率：20~80万倍
加速电压：0.5~30kv，0.1kv/步。束流强度：1pA~2nA
样品室： 最大样品尺寸100mm
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