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薄膜微电池制备设备(Membrane micro battery preparation equipment)
电子科技大学
成都现代南光真空设备有限公司，JCP-500|| ||极限真空:7.6X10^-5Pa
四川省
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行业专用仪器

检测范围

磁控/电子束方法制备多层膜，及多种掩膜的更换

仪器参数

复合镀膜室极限真空度超过6.7×10-5Pa；基片更换室极限真空度超过2×10-4Pa；
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