半导体探针测试系统(Probe Station)
电子科技大学
Cascade公司,S300-971|| ||12英寸
四川省
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检测范围

拥有超强的校准技术及负载电感补偿技术,结合独有的MicroChamber和AttoGuard专利技术,使DC/CV测试精度可达1fA/1fF,RF测试可在10 M~40 GHz的范围提供高精度测试结果

仪器参数

高频测试探头GSG ,频率达50GHZ,对6寸、8寸及12寸等晶圆进行半自动测试。
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