高真空磁控与离子束溅射镀膜系统(High vacuum magnetron and ion beam sputtering coating system) | |||
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电子科技大学 | |||
中科院沈阳科学仪器研制中心有限公司,FJL560L型|| ||极限真空6.6X10^-5Pa 离子束室:5X10-5Pa | |||
四川省 | |||
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