检测范围
材料形貌表征
仪器参数
*3.1.1保证分辨率： 二次电子图象分辨率：3.0nm (30kV, 高真空模式)，10nm (3kV, 低真空模式)。 背散射电子图象分辨率：4.0nm (30kV, 低真空模式) 3.1.2 加速电压：0.3 ~ 30kV。 3.1.3 放大倍率：×5 ~ ×300,000 3.1.4 灯丝：标准为预对中型的钨灯丝 *3.1.5 最大样品尺寸：不小于直径200mm，高度不小于35mm(WD=10mm)。 3.1.6 图像移动范围：±50μm * 3.1.7 样品台：样品
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