仪器参数
1.真空腔体:真空腔由SUS304不锈钢制成；2.内部尺寸大致为450mmx450mmx640mm(方形腔体:长X宽X高)，装有基础结构和挡板的固定装置；3.真空抽气及测量系统: 真空抽气系统包括分子泵,机械泵,预抽阀,前级阀,放气阀等,真空测量系统包括测量规管；4.样品架及挡板系统:样品架及挡板系统安装在真空腔体顶部；5.蒸发源及电源系统:包括6组金属电极和8组有机电极,3套切换使用的蒸发电源；5.软件控制,膜厚控制及定位系统:设备操作软件及样品盘的伺服定位系统；6.电气控制系统:采用PLC+PC机组态
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