检测范围
主要附件:1.进出水总管：1.5吋，配水压报警器，各分支水路球阀开关，增加两路备用；2.配带备件：全套橡胶密封件1套，弧靶配件2套，高真空规管2个，钛靶材2套，随机工具1套。主要功能：覆盖物理学、应用物理学、化学、应用化学、材料化学，高分子材料与工程、环境工程、食品工
仪器参数
真空室内腔尺寸：直径×高度＝?900×950mm3；极限真空度：优于5×10-4 Pa 漏率要求：（真空室，不安装离子源及溅射靶，冷态。真空抽至6.0×10-3 Pa后，关闭高阀，真空度降至1.0×10-1 Pa时间不少于15分钟。）；恢复真空：抽气速率：<20分钟（从大气—3.3×10-3Pa）常温状态；真空室材料：整个真空室采用SUS304不锈钢材料制造，内表面抛光，外表面喷丸处理；真空室结构：真空室壳体壁厚：8mm 真空室水
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