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非接触式表面光学形貌仪(-)
三一重工股份有限公司
美国BRUKER公司，NPflex 3D
湖南省
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仪器参数

基于白光干涉技术，进行非接触式三维形貌特征测量、表面测量、摩擦学测量等。配备1.5倍、2倍、5倍、10倍物镜。垂直测量范围：0.1nm-10mm，垂直分辨率：<0.1nm  横向分辨率：0.1-13.1μm。
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