检测范围
主要附件：逆变式多弧电源：A160；稳定电流50～150A3套；直流溅射电源：5kw1台；中频电源：5kw1台；进口全自动调谐射频电源：1kw1台；样品加热控制电源：1套；样品转动控制电源：1套；脉冲偏压电源：10kw1套。
仪器参数
★该系统为高真空阴极弧源放电+磁控溅射联合镀膜系统，系统用于直径10mm×300mm管材外表面或30×30×5mm板材表面以及刀具和模具上沉积高性能冶金和耐磨擦镀膜而设计，如TiAlN、TiN等。★1、系统采用立式前开门全不锈钢（太钢冷轧板304不锈钢）双层水冷结构。★2、真空室组件及配备零部件全部采用优质不锈钢材料304制造，腔体尺寸Φ500×H550（mm）氩弧焊接，表面钝化处理工艺。★3、系统采用分子泵+机械泵机组进行抽气，保证系统为准无油抽气系统。极限真空：
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