检测范围
扫描式电子显微镜主要用于观察固体表面的形貌，也能与X射线衍射仪或电子能谱仪相结合，构成电子微探针，用于物质成分分析。
仪器参数
分辨率：高真空模式 4.0nm(20kV)，低真空模式5.0nm(20kV)；放大倍率：8到100,000倍；加速电压：0.5kV~20kV；样品台：大型全对中样品台(五轴手动X,Y,Z,R,T)，Ｘ：80mm，Ｙ：40mm，Ｚ：5mm～48mm，T：-10°～+90°，R：360°；最大样品尺寸：直径150mm，高度48mm；检测器：二次电子检测器、背散射检测器、（成份像、形貌像、立体像）、EDS检测器(SDD)＊JSM-6010LA有低真空二次电子检测器为选购；画像显示：
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