检测范围
JXA-8100电子探针微量分析仪由日本电子株式会社生产。电子探针(EPMA)可对B-U(5-92)号元素组成的固体样品进行定性,定量,线、面分析及相分析。波长范围:0.087~9.3 nm;定量分析检测极限100ppm,二次电子像分辨率为6nm,背散射电子像分辨率为20 nm。X射线能谱仪(EDS):为
仪器参数
探头:Si P-N结环形探测器
二次电子分辨率:好于6nm
分析元素范围:B-U
放大倍数:40×-300×以上,连续可调
分析精度:好于1%
波谱通道数:4CH
加速电压范围:0-30kv(每步≤0.5kv)
探针电流范围:10-12-10-5A
束流稳定性:±0.5x10-3/h
电子像的畸变:400倍放大率),