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多功能扫描成像光电子能谱仪（附加扫描俄歇电子能谱）(Scanning XPS Microprobe system)
昆明理工大学
ULVAC-PHI公司，PHI 5000 VersaProbe
云南省
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检测范围

能对元素周期表中除氢、氦以外的所有元素，进行定性定量分析，以及化学价态分析；通过电子中和枪和离子枪进行双束中和达到电荷补偿与平衡，消除荷电效应引起的电子结合能的偏移

仪器参数

X射线束斑≤10μm能量分辨率：半高宽FWHM≤ 0.5eV（Ag3d5/2峰）
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