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白光干涉轮廓测量仪
西安交通大学
Taylor Hobson，CCI6000K510-3159-01
陕西省
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检测范围

分析软件:Talymap3D&2D.可分析粗度/平面度/波纹/膜厚/体积/承压比等.微尺寸(距离/高度),表面频谱分析(FFT) . 典型应用:MEMS微小尺寸计算,晶圆表面粗度/平面度,非球面表面粗糙度,硬碟/光碟表面组织形状,OLED/PDP/LCD膜厚分析计算.

仪器参数

Z方向解析度:0.1?;测量范围(Z轴):100um,(XY)0.36x0.36mm~7.2x7.2mm(物镜倍率);1024x1024测点数;受测物反射率0.3%-100%;Mirau干涉.
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