冷场发射扫描电镜(Ultra-high Resolution Scanning Electron Microscope)
中山大学
日立,日立 S-4800
广东省
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检测范围

超显微、形貌与成份分析相结合

仪器参数

辨率:1.0nm (15kV),2.0nm (1kV),1.4nm(1KV)入射电子减速功能;放大倍率:×20 ~ ×800,000;加速电压:0.5 ~ 30kV;X射线能谱仪分辨率/有效面积:不低于133eV,10mm2
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