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扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope)
中山大学
FEI公司，Quanta 250 FEG
广东省
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检测范围

材料微观形貌观察

仪器参数

分辨率（高真空，30KV）：1.1nm；分辨率（低真空，3KV）：2.9nm；极限真空（腔体）：1.52E^-4Pa；极限真空（下离子泵）：6.15E^-6Pa；极限真空（上离子泵）：2.50E^-7Pa
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