微波等离子体去胶机-测试100仪器共享平台

微波等离子体去胶机(Gasonics L3510)
所在单位：	贵州中科汉天下电子有限公司
品牌/型号：	LAM，Gasonics L3510 Asher
所在地区：	贵州省
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检测范围

Bas-Pressure：<5-mTorr-Lea-Rate：<3-mTorr/min；Proces-Pressur-Tolerance：5-o-setpoint；MF-Accurac-(Digita-MFC)：<10-(ful-scale)；Heate-Temperatur-Control：1o-setpoint；Tem-spec-5℃-Particle：<30EA(>0.3um)。

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